点击图片查看原图
“DPLC高温用平坦化硬掩膜”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | IS 9001：2008 |
| 加工定制： | 是 | 种类： | 半导体流程化合物材料 |
| 用途： | 硬掩膜平坦化 | 型号： | DPLC |
| 规格： | 高温用旋转涂层硬掩膜 | 商标： | DCT material |
| 包装： | 玻璃隔光容器（1加仑，0.5加仑） | 产量： | 45000 |
“DPLC高温用平坦化硬掩膜”详细介绍
产品详情介绍：
DPLC是高温用旋转涂层硬掩膜。
特性：
1.和 HT-SOC对比，平坦化率改善。
2.卓越的热稳定性。
3.生产力及沉积设备的投入减少。
4.卓越的溶解度&均匀的涂层性。
现有流程：
1.为了顺利完成光刻胶流程必须先进行平坦化流程。
2.需要Mask修正及光学邻近矫正
3.存在空隙
DPLC流程：
1.平坦化特性提高
2.不存在空隙（卓越的空隙填充特性）
3.流程中费用减少及生产力增大
DPLC是高温用旋转涂层硬掩膜。
特性：
1.和 HT-SOC对比，平坦化率改善。
2.卓越的热稳定性。
3.生产力及沉积设备的投入减少。
4.卓越的溶解度&均匀的涂层性。
现有流程：
1.为了顺利完成光刻胶流程必须先进行平坦化流程。
2.需要Mask修正及光学邻近矫正
3.存在空隙
DPLC流程：
1.平坦化特性提高
2.不存在空隙（卓越的空隙填充特性）
3.流程中费用减少及生产力增大